近日，芬兰原子层沉积(ALD)设备与薄膜解决方案供应商Beneq宣布，推出适用于宽禁带(WBG)功率电子器件、先进射频(RF)器件以及Micro LED显示领域的ALD量产设备Beneq Transmute系统。

图片来源：Beneq

　　据悉，Transmute系统架构结合了等离子体预处理、等离子体增强 ALD(PEALD)和热式批量ALD，可在高产能条件下实现原子级界面控制的高性能均匀介电膜层。

　　此外，Transmute系统搭载的25片晶圆流场均匀腔体与先进前驱体供给技术，可实现更快的循环时间、更优的晶圆覆盖率，并减少材料浪费，从而在多种半导体应用中显著降低总体拥有成本。

　　资料显示，Beneq成立于1984年，并在同年推出全球首台商用ALD设备。目前，Beneq的设备与服务已进入功率电子、射频通信、LED/μLED/OLED、MEMS 与传感器、光伏、锂电池、柔性电子、光学镀膜等行业。

　　今年7月，Beneq曾宣布，公司Micro LED ALD设备获得头部客户追加订单，用于生产单片集成Micro LED与驱动电路，目标应用锁定AR眼镜等可穿戴设备。

编辑：严志祥