《异质外延氮化镓外延层厚度测试白光干涉法》正式公开征求意见-中国照明网

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《异质外延氮化镓外延层厚度测试白光干涉法》正式公开征求意见

2025-05-13

中国照明网报道

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导语：由北京大学东莞光电研究院牵头起草的标准T/CSA 102-202x《异质外延氮化镓外延层厚度测试白光干涉法》已形成征求意见稿，现正式面向CSA联盟会员单位征集意见，为期一个月，2025年6月6日截止。

　　由北京大学东莞光电研究院牵头起草的标准T/CSA 102-202x《异质外延氮化镓外延层厚度测试白光干涉法》已形成征求意见稿，现正式面向CSA联盟会员单位征集意见，为期一个月，2025年6月6日截止。

　　该标准描述了使用白光干涉法测试异质外延单一结构的氮化镓外延层厚度的试验条件、仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、质量保证和控制，以及试验报告。

　　该标准适用于异质外延氮化镓外延层厚度(范围为0.1 μm至100 μm)的测试。AlN、InN、AlGaN和InGaN在异质外延上的单一结构膜层厚度的测试可参照执行。

编辑：严志祥

来源：半导体照明工程研发及产业联盟

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