3月2日上午，沈阳市浑南区春季重点项目开复工动员大会暨芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目开工仪式在芯源微创新路地块隆重举行。

　　作为主会场的芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目，总投资10亿元。本次开工的芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目，主要研发生产前后道涂胶显影设备，建成后将提升国产光刻工序涂胶显影设备市场占有率，打破国外产品的市场垄断及技术垄断。这一重大项目的开工建设，也是沈阳打造全国集成电路装备及零部件重点产业基地的重要举措。

编辑：严志祥