2025年1月8日，中关村半导体照明工程研发及产业联盟(CSA)标准化委员会(CSAS)秘书处组织召开《异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法》标准起草小组第一次讨论会，北京大学东莞光电研究院、东莞质检、中镓半导体、普雷赛斯、中科院半导体所、京东方华灿光电、民爆光电、第三代半导体产业技术战略联盟及CSAS技术咨询委员等共计13位专家代表参会。

线上截图|TCSA 102团体标准起草组第一次讨论会

　　《异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法》由北京大学东莞光电研究院联合南京大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院半导体研究所、广东省东莞市质量监督检测中心四家单位提案，经过CSAS管理委员会投票获得批准，2024年11月正式立项，标准编号为：T/CSA 102。

　　针对异质外延的氮化镓膜层厚度的测试方法已被业界广泛使用，但是相应测试方法的缺失在一定程度上降低了上下游沟通效率，本标准的制定旨在方便各方进行对标，提高沟通协调效率。

　　T/CSA 102起草组第一次讨论会，北大东莞光电研究院刘强博士介绍了标准项目背景、草案内容，与会专家从标准的适用性、可操作性、规范性、立项投票管理委员意见等方面展开了充分讨论。会后，起草组将根据会上讨论结果进一步完善标准文本，并开展试验验证以支撑标准的制定。

编辑：严志祥